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| １９９１年 |
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第一電通株式会社のアフターサービス部門として株式会社第一機電発足。
高周波誘導加熱装置のアフターサービスを開始。 |
| １９９３年 |
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第一電通株式会社の高周波事業部と合併し、高周波誘導加熱装置関連機器すべての業務を譲渡される。
三菱商事株式会社を総販売元とし、単結晶育成製造装置の開発・設計・製造・販売を開始。 |
| １９９７年 |
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三菱商事株式会社より１９．５１％の資本参加を得る。
１，１００万円を増資し、資本金を４，１００万円とする。 |
| １９９８年 |
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単結晶と多結晶の関連装置の開発・設計・製造・販売を開始。 |
| ２０００年 |
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三菱商事株式会社より追加出資を得る。(計２５．０％となる)
資本金を９，７００万円とする。
装置開発研究部門設立。 |
| ２００６年 |
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生産増強に伴い茨城工場新設。 |
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