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製品案内/ラインナップ
当社製品ラインナップの一部です。その他製品については、設計・制作・据付まで一貫して行います。
尚、お客様のニーズによって試作・実験等を実施し装置構成をご提案致します。
□ 太陽電池用大型多結晶
シリコン凝固育成装置
□ 太陽電池用大型多結晶
シリコン育成装置
多結晶シリコン育成装置 多結晶シリコン育成装置
 周辺設備オプション
計量コンベア 焼成炉 チラー
計量コンベア 焼成炉 チラー
多結晶シリコン凝固育成装置 多結晶シリコン育成装置
□ 単結晶引上装置(CZ法)
高周波加熱方式 トビラ型 抵抗加熱方式 抵抗加熱方式
高周波加熱方式 トビラ型 抵抗加熱方式 抵抗加熱方式
□ 抵抗加熱式結晶育成装置
3ゾーン大気型ブリッジマン炉 2ゾーン真空ブリッジマン炉 3ゾーン雰囲気型ブリッジマン炉 引下装置 引下装置
3ゾーン大気型
ブリッジマン炉
2ゾーン真空
ブリッジマン炉
3ゾーン雰囲気型
ブリッジマン炉
引下装置 引下装置
□ 高周波加熱炉 □ 抵抗加熱炉 □ 高真空加熱装置
超高温加熱炉 一般加熱装置 高真空加熱装置 誘導加熱溶解炉
超高温加熱炉 一般加熱装置 高真空加熱装置 誘導加熱溶解炉
□ 気相成長装置
(CVD法・EP法)
□ 液晶成長装置
(液晶エピタキシー)
□ 各種加熱装置
SiC用CVD装置 液相エピタキシャル装置 一般加熱装置 自動焼鈍搬送装置 電線加熱装置
SiC用CVD装置 液相エピタキシャル装置 一般加熱装置 自動焼鈍搬送装置 電線加熱装置
□ 高周波電源制御装置
ADC操作架 トランジスタインバータ MOSインバータ 一般加熱装置 純水冷却水循環装置
ADC操作架 トランジスタインバータ MOSインバータ 一般加熱装置 純水冷却水循環装置
□ 単結晶成長装置 □ 高温アニール装置(RTA)
昇華法装置 高温アニール装置(RTA)
昇華法装置 高温アニール装置(RTA)
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