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製品案内/ラインナップ
当社製品ラインナップの一部です。その他製品については、設計・制作・据付まで一貫して行います。
尚、お客様のニーズによって試作・実験等を実施し装置構成をご提案致します。
□ 太陽電池用大型多結晶
シリコン凝固育成装置
□ 太陽電池用大型多結晶
シリコン育成装置
周辺設備オプション
計量コンベア
焼成炉
チラー
多結晶シリコン凝固育成装置
多結晶シリコン育成装置
□ 単結晶引上装置(CZ法)
高周波加熱方式
トビラ型
抵抗加熱方式
抵抗加熱方式
□ 抵抗加熱式結晶育成装置
3ゾーン大気型
ブリッジマン炉
2ゾーン真空
ブリッジマン炉
3ゾーン雰囲気型
ブリッジマン炉
引下装置
引下装置
□ 高周波加熱炉
□ 抵抗加熱炉
□ 高真空加熱装置
超高温加熱炉
一般加熱装置
高真空加熱装置
誘導加熱溶解炉
□ 気相成長装置
(CVD法・EP法)
□ 液晶成長装置
(液晶エピタキシー)
□ 各種加熱装置
SiC用CVD装置
液相エピタキシャル装置
一般加熱装置
自動焼鈍搬送装置
電線加熱装置
□ 高周波電源制御装置
ADC操作架
トランジスタインバータ
MOSインバータ
一般加熱装置
純水冷却水循環装置
□ 単結晶成長装置
□ 高温アニール装置(RTA)
昇華法装置
高温アニール装置(RTA)
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