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製品案内/はじめに
当社独自の加熱技術を核に開発した、第一機電ならではの優れた応用商品群をニーズにあわせて提供
致します。
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ラインアップ
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高周波電源、炉体、コンピュータ方式の
制御装置および結晶育成のノウハウを駆使
したソフトウェアを一貫して提供致します。
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太陽電池用大型多結晶シリコン凝固育成装置
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太陽電池用大型多結晶シリコン育成装置
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単結晶引上装置(CZ法)
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抵抗加熱式結晶育成装置
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高周波加熱炉
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抵抗加熱炉
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高真空加熱装置
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気相成長装置(CVD法・EP法)
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液晶成長装置(液晶エピタキシー)
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各種加熱装置
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高周波電源制御装置
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単結晶成長装置
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高温アニール装置(RTA)
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応用例
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[基板用結晶]
LT/LN/GGG/LGS/サファイア/---
[光学用結晶]
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レーザー結晶
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シンチレーター結晶
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その他の結晶
YAG/YAP/LuAG/YVO/GSGG/サファイア/---
LBO/BSO/BGO/LSO/---
CaF/PM/LT/LN/---
[半導体結晶]
Si/SiC/GaAs/---
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