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ラインナップ 大型多結晶シリコン凝固育成装置
多結晶シリコン凝固育成装置
応用例 大型多結晶シリコン育成装置 多結晶シリコン育成装置
計量コンベア
焼成炉
チラー
単結晶引上げ装置 高周波加熱方式
トビラ型
抵抗加熱方式
抵抗加熱方式
抵抗加熱式結晶育成装置 3ゾーン大気型ブリッジマン炉
2ゾーン真空ブリッジマン炉
3ゾーン雰囲気型ブリッジマン炉
引下装置
引下装置
高周波加熱炉 超高温加熱炉
抵抗加熱炉 一般加熱装置
高真空加熱装置 高真空加熱装置
誘導加熱溶解炉
気相成長装置(CVD法・EP法) SiC用CVD装置
液晶成長装置(液晶エピタキシー) 液相エピタキシャル装置
各種加熱装置 一般加熱装置
自動焼鈍搬送装置
電線加熱装置
高周波電源制御装置 ADC操作架
トランジスタインバータ
MOSインバータ
一般加熱装置
純水冷却水循環装置
単結晶成長装置 昇華法装置
高温アニール装置(RTA) 高温アニール装置(RTA)
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