小型チャンバー引上げ装置（CZ法）

製品概要

CZ（Czochralski、チョクラルスキー）法による単結晶育成装置で、工業的に採用されている一般的な育成方法です。

本装置は、当社の考案した育成プログラム（ADC制御）によりシードタッチ後の自動育成を可能にしました。また、パワー制御をすることにより、個体差のない単結晶育成を実現しました。

特徴

• PCによる集中制御、画面構成（全5画面）
• コンパクトな炉体（特許出願中）
• ランニングコストの低減
• 安全性に優れた設計

応用例

LT／LN、GGG、LGS、Sapphire、YAG、NdYAG、YAP、NdYAP、LuAG、YbLuAG、NdCrGSGG、BGO、PM、YVO、LBO、BSO、LSO、CaF、Si等

製品仕様