ロードロック式CVD装置

概要

本装置はウエハーの熱処理を⾼周波誘導加熱で⾏い、原料等をヒータ加熱で⾏っているハイブリッド加熱を実現しております。

処理枚数は最⼤16枚が可能で、ウエハーストッカーから未処理のウエハーを取出し搬送を⾏い、加熱処理を⾏い、ウエハーストッカーに戻す⼀連の⼯程を全⾃動で⾏います。

熱処理が終わったウエハーを交換する際に⼀旦温度を下げますが、⾼周波誘導加熱を⾏う事で急速に温度を上げることができ、1バッチの時間短縮を可能にしております。

特徴

• ウエハーを連続で熱処理が可能
• 最大処理枚数が16枚
• ウエハーの搬送から熱処理まで全自動
• ハイブリット加熱（高周波誘導加熱＋ヒーター加熱）
• 省スペース・省エネの設計

仕様