製品紹介

高周波電源

周波数・出力帯別に最適化された
高周波電源ラインナップ

加熱プロセスに最適な高周波電源をご提案します。
IGBT・SiCインバータ、真空管式など多様な電源方式により、用途や加熱対象に応じた最適構成を実現します。
研究開発用途から量産設備まで幅広く対応します。

特徴

  • 電源変動±10%でも出力変動±0.05%以内
  • 高周波出力は0~100%でリニアに制御が可能
  • 負荷変動に対して周波数を自動で追従します

高周波電源ラインナップ

IGBTインバータ高周波電源

SiCインバータ高周波電源

真空管式高周波電源

高周波通電加熱用電源