光学・フォトニクス

丸型チャンバー引上げ装置（CZ法）

小型チャンバー引上げ装置（CZ法）

抵抗加熱式引上げ装置（CZ法）

扉型チャンバー引上げ装置（CZ法）

ブリッジマン装置

小型ブリッジマン装置

液相エピタキシャル装置(LPE炉)

高温急冷アニール装置（RTA炉）

MSG結晶育成装置

多結晶シリコン凝固育成装置