ロードロック式CVD装置|高周波誘導加熱・通電加熱・抵抗加熱・高周波電源・ホットプレスのことなら

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ロードロック式CVD装置

 

グローブボックスマルチ加熱炉。ホットスタンプ 高温炉 大気炉 真空炉 溶解炉 熱処理炉 真空管式発振機 タングステンヒーター 真空炉 ビレットヒータ 金属加熱 高周波加熱 高周波溶解炉 ホットプレス ハイブリッド加熱 ホットスタンピング 高温炉 溶解炉 高周波溶解炉 通電焼結装置 真空管式発振機 マイクロPD 引下げ装置

ウエハーの連続熱処理が可能
2種の加熱を自在制御

 

搬送から熱処理まで全自動制御

概要

本装置はウエハーの熱処理を⾼周波誘導加熱で⾏い、原料等をヒータ加熱で⾏っているハイブリット加熱を実現しております。

処理枚数は最⼤16枚が可能で、ウエハーストッカーから未処理のウエハーを取出し搬送を⾏い、加熱処理を⾏い、ウエハーストッカーに戻す⼀連の⼯程を全⾃動で⾏います。

熱処理が終わったウエハーを交換する際に⼀旦温度を下げますが、⾼周波誘導加熱を⾏う事で急速に温度を上げることができ、1バッチの時間短縮を可能にしております。

 

特長

  • ウエハーを連続で熱処理が可能
  • 最大処理枚数が16枚
  • ウエハーの搬送から熱処理まで全自動
  • ハイブリット加熱(高周波誘導加熱+ヒーター加熱)
  • 省スペース・省エネの設計

仕様

加熱方式 高周波誘導加熱 + ヒーター加熱(3ゾーン)
加熱温度 最高1200℃
雰囲気  真空置換後不活性ガス雰囲気
ウエハーサイズ 6インチ
処理枚数 16枚

お問い合わせ

興味をお持ちの方・導入を検討している方、まずはお気軽にご連絡下さい。

042-488-3312

電話受付時間10:00~17:30

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