バッチ式焼成炉
前扉式の炉体
6系統の大流量マスフローによる流量制御
各種材料の焼成熱処理
概要
扉面を含め全面へヒーターを配置することで、一度にムラなく多くの材料を焼成することが出来ます。
不活性ガスやエアーを、セッター棚毎に大流量マスフローで流量制御を行い、焼成時に出る不純物の除去と徐冷時間を短縮することが可能です。
仕様
| 加熱方式 |
3ゾーン金属ヒーター加熱 |
|---|---|
| 加熱温度 | 最高900℃ |
| 雰囲気 | 大気雰囲気 |
| 流量制御 | 600L/minマスフロー6系統 |
前扉式の炉体
6系統の大流量マスフローによる流量制御
各種材料の焼成熱処理
扉面を含め全面へヒーターを配置することで、一度にムラなく多くの材料を焼成することが出来ます。
不活性ガスやエアーを、セッター棚毎に大流量マスフローで流量制御を行い、焼成時に出る不純物の除去と徐冷時間を短縮することが可能です。
| 加熱方式 |
3ゾーン金属ヒーター加熱 |
|---|---|
| 加熱温度 | 最高900℃ |
| 雰囲気 | 大気雰囲気 |
| 流量制御 | 600L/minマスフロー6系統 |
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