3つの加熱技術
第一機電は3つのコア加熱技術から目的に最適な加熱方式を選定し、均一加熱・急速加熱・局所加熱・高温加熱など、加熱技術の特長を活かした装置構成をご提案いたします。
誘導加熱
導電性の被加熱物に電流が誘導されて自己発熱させる加熱方式
コイルに交流電流を流して発生した磁界の中に金属を置き、金属内に流れる渦電流と金属が持つ電気抵抗によりジュール熱が発生し金属が発熱します。
※誘導加熱についての詳細な説明はこちらをクリックしてください。
- 高温/局所/急速加熱が可能
- 自己発熱の為効率が良い
- 対象物へ非接触で加熱が可能
アプリケーション 超高温加熱炉 加熱成型装置 液体急冷装置 ホットプレス（1～1000t） 合金ワイヤー製造装置 扉型チャンバー引上げ装置（CZ法） 高周波加熱式μ‐PD（引下げ）炉 溶液法装置 昇華法装置 等
抵抗加熱
導電性の被加熱物に電流を通した際に、物体が持つ電気抵抗により発熱する原理を利用した加熱方式
電流が電気抵抗に流れる際に発生するジュール熱を利用して、被加熱物に輻射熱を与えて加熱させます。
- 安価な設備
- 温度の安定性に優れる
- ヒータ構造のバリエーションが豊富（ゾーン加熱）
アプリケーション バッチ式焼成炉 大型管状炉 ホットプレス（1～1000t） ホットプレス（ブロックヒーター式） 多結晶シリコン凝固育成装置 超高品質大型インゴット成長装置 抵抗加熱式引上げ装置（CZ法） 抵抗加熱式μ‐PD（引下げ）炉 高温急冷アニール装置（RTA炉） MSG結晶育成装置 等
通電加熱
導電性の被加熱物に直に電流を流して、被加熱物を直接発熱させる加熱方式
高周波電流を用いることで表皮効果によりワーク表面近くに電流が流れ表面を速く加熱できます。被加熱物が導電性である必要があり用途が制限されるが、被加熱物のみが昇温されヒート＆クールに向いた加熱方式となります。
- 表層のみに加熱ができる（高周波通電）
- 急速加熱が可能
- 加熱電力が抑えられる
アプリケーション 小型ホットスタンピング装置 高周波誘導電線加熱装置 サーボプレス焼成炉 ハイブリッド型焼結装置（連続式） ハイブリッド型焼結装置（バッチ式） マルチ炉（焼結・溶解・含浸・ホットプレス） 等
ハイブリッド加熱の提案
高周波誘導加熱 ＋ 抵抗加熱 ロードロック式CVD装置
高周波誘導加熱 ＋ 通電加熱 ハイブリッド型焼結装置（連続式） ハイブリッド型焼結装置（バッチ式） マルチ炉（焼結・溶解・含浸・ホットプレス）
