実験装置リスト
バッチ式ハイブリッド型焼結装置
主仕様
高周波電源 | 10kW, 約13kHz |
パルス電源 | 電流 8000A |
加熱温度 | 1500℃ |
焼結サイズ | Φ20(100MPa) |
サーボプレス |
最大推力50kN(連続50kN) |
雰囲気 | 真空or不活性ガス雰囲気 |
連続式ハイブリッド型焼結装置
主仕様
高周波電源 | 20kW, 約12.5kHz |
パルス電源 | 2000A |
加熱温度 | 2500℃ |
処理数 | 8連続 |
焼結サイズ | IDΦ50(25MPa)、IDΦ20(100MPa) |
サーボプレス |
最大推力50kN |
雰囲気 | 真空or不活性ガス雰囲気 |
ハイブリッド型焼結装置
主仕様
高周波電源 | 40kW、約7kHz |
パルス電源 |
6000A |
加熱温度 |
2000℃ |
処理数 |
1回 |
焼結サイズ |
IDΦ50(100MPa) |
サーボプレス |
最大推力200kN |
雰囲気 | 真空or不活性ガス雰囲気 |
超高温加熱炉(熱処理炉)
主仕様
高周波電源 | 20kW、約10kHz |
最高温度 | 3500℃ |
昇温レート |
3000℃迄200℃/min(平均) |
温度測定方式 | 2色放射温度計 |
雰囲気 | 真空or不活性ガス雰囲気 |
ルツボ | カーボン、Φ50×50H(内寸) |
ホットスタンピング装置(熱処理炉)
主仕様
高周波電源 |
30kW、30~250kHz、SiC-FET使用 |
加熱温度 |
最高1000℃(材料により異なります) |
プレス機 |
油圧式200kN、距離250㎜、ダイハイト500㎜ |
金型寸法 |
600㎜×500㎜ |
搬送機構 |
電動アクチュエーター Y軸 搬送速度 最大500㎜/sec、移動距離500㎜ |
横型ゾーン加熱炉
主仕様
加熱源 | 金属ヒーター |
加熱温度 |
1100℃(雰囲気700℃) |
温度測定方式 |
R熱電対 |
雰囲気 |
真空or不活性ガス雰囲気 |
ヒータ駆動部 |
0.1~300㎜/min |
炉心管 |
IDΦ50×1200L |
高温溶解炉(熱処理炉)
主仕様
加熱源 | カーボンヒータ, 2ゾーン(独立制御) |
加熱温度 | 2200℃ |
温度測定方式 | 2色放射温度計 |
雰囲気 |
真空or不活性ガス雰囲気 |
上軸駆動 |
昇降機構, 回転機構 0.1~10.0rpm 低速0.1~5.0㎜/hr, 高速 2.0~200㎜/min |
ルツボ | Φ270×280H(外寸) |
MSG-30(1台)
MSG-100(2台)
ブリッジマン装置
主仕様
加熱源 | カーボンヒーター |
加熱温度 | 1700℃ |
温度測定方式 | B熱電対 |
雰囲気 | 高真空or不活性ガス雰囲気 |
ルツボ |
□220×220H |
ルツボ駆動部 |
低速 1~100㎜/hr, 高速 6~600㎜/min, ストローク280㎜ |
4ゾーンブリッジマン装置
主仕様
加熱源 | 金属ヒーター、4ゾーン |
加熱温度 |
900℃ |
温度測定方式 |
K熱電対 |
雰囲気 |
大気雰囲気 |
ルツボ |
石英、Φ160×500H(外寸) |
ルツボ駆動部 |
低速0.1~10㎜/hr、高速2~200㎜/min |
大型一方向凝固炉(熱処理炉)
主仕様
加熱源 | カーボンヒータ |
最高温度 | 1650℃ |
温度測定方式 |
B熱電対 |
圧力制御 |
65~95kPa |
雰囲気 | 真空or不活性ガス雰囲気 |
ルツボ寸法 |
□1000×400H |
ルツボ駆動部 |
0.1~5 or 2~200㎜/min、距離220㎜ |
1インチCZ炉
主仕様
高周波電源 | 40kW、約11kHz |
加熱温度 |
2000℃ |
S/L軸昇降 |
0.2~20㎜/min |
S/R軸回転 |
0.6~60rpm |
雰囲気 |
真空or不活性ガス雰囲気 |
ルツボ |
Ir、φ60×60H(外寸) |
ロードセル |
3kg、分解能1/100,000 |
真空加熱炉
主仕様
高周波電源 | 50kW、約7kHz |
加熱温度 |
2700℃ |
温度測定方式 |
2色放射温度計 |
本体構成 | 2重石英管水冷チャンバー |
真空機器 | ロータリーポンプ+ターボ分子ポンプ |
圧力制御(Ar) | 制御範囲1~100torr±1torr |
ルツボ |
カーボン、Φ180×220H(外寸) |
ルツボ駆動部 |
回転0.1~10 rpm(CW) |
真空管高周波電源
主仕様
出力 | 0~40kW(200kHz), 0~20kW(400kHz) |
周波数 |
約200kHz or 約400kHz |