会社沿革
| 1991年 | 資本金2,000万円にて設立 |
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| 1992年 | トランジスタインバータの製造開始。高能率・省スペース化を実現 |
| 1993年 | 高周波誘導加熱を利用した結晶育成装置及び工業炉の製造・販売を開始 |
| 1997年 | 1,100万円増資を行い資本金4,100万円となる |
| 1998年 | LT単結晶需要拡大に伴いCZ装置の量産体制を確立 |
| 2000年 | 追加増資を行い資本金9,700万円とする |
| 2002年 | SiC単結晶育成装置など化合物半導体向け装置の販売を開始 CZ法によるサファイア単結晶育成装置の開発を開始 |
| 2004年 | 溶液成長法による開発用SiC単結晶育成装置を販売 SiCウエハー用急加熱急冷アニール装置の販売を開始 |
| 2005年 | 太陽電池用多結晶Si凝固育成装置の販売を開始 |
| 2006年 | 生産増強に伴い茨城県北茨城市に生産工場を新設し操業を開始 |
| 2007年 | 茨城第2工場を新設して多結晶Siインゴットの受託生産を開始 |
| 2010年 | 超大型サファイア単結晶引上げ装置の販売を開始 |
| 2013年 | SiCモジュールを採用し省スペース・省電力化を実現した新型高周波電源の開発を開始 |
| 2014年 | ハイブリッド型焼結装置の開発を開始 |
| 2015年 | ハイブリッド型焼結装置HMSシリーズの販売を開始 新型高周波電源HPI・MEIシリーズの販売を開始 |
| 2017年 |
オープンラボを新設し運営を開始 小型ホットスタンピング装置の販売を開始 |
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2018年 |
大型ホットプレスの販売を開始 |
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2019年 |
グローブボックスマルチ加熱炉の販売を開始 |
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2020年 |
ブロックヒーター式ホットプレスの販売を開始 |
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2022年 |
「カーボンニュートラル目標」を公開 |
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2023年 |
温室効果ガスの削減のためにクリーン発電を開始 |
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2024年 |
茨城工場の新事務棟を完成 茨城エコ事業所に登録 |
