多結晶シリコン凝固育成装置|高周波誘導加熱・高周波焼き入れ・誘導加熱装置のことなら株式会社第一機電

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多結晶シリコン凝固育成装置

PCによる集中制御、画面構成

コンパクトな炉体(特許出願中) 

ランニングコストの低減、安全性に優れた設計

MSF-690C / MSF-840C

概要

エコロジー時代のニーズに応える当社の先進技術。太陽電池用結晶を生み出す多結晶シリコン凝固育成装置です。大型の育成装置(MSF-840S)もラインアップしております。

 

※小型多結晶シリコン凝固育成装置MSF-690C及びR&D用凝固育成装置MSF-180Cも用意しています。

特長

  • PCによる集中制御、画面構成(全5画面)
  • コンパクトな炉体(特許出願中)
  • ランニングコストの低減
  • 安全性に優れた設計

仕様

シリコンの最大投入可能寸法 840x840×250(mm)
育成時間 60~70時間
結晶重量 420kg
加熱温度 最大1700℃、常用1600℃ (カーボンヒーター)
炉内圧力 大気圧~減圧
雰囲気

アルゴンガス1~50L/min、圧力0.2Mpa 50L/min

電源 3相交流 400/440V 50/60HZ共用 300KVA
耐火材 成形断熱材 (カーボン材質)

冷却水

圧力0.3MPa 流量400L/min 温度35℃以下
エアー 0.5MPa以上
チャンバー 水冷2重構造

お問い合わせ

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