丸型チャンバー引上げ装置(CZ法)|CZ炉・高周波誘導加熱・高周波焼き入れ・誘導加熱装置のことなら株式会社第一機電

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丸型チャンバー引上げ装置(CZ法)

丸型チャンバー引上げ装置(CZ炉)

丸型チャンバー引上げ装置

チョクラルスキー法結晶育成炉のベストセラー

高周波加熱式結晶育成装置

概要

CZ(Czochralski、チョクラルスキー)法による単結晶育成装置で、工業的に採用されている一般的な育成方法です。

本装置は、当社の考案した育成プログラム(ADC制御)によりシードタッチ後の自動育成を可能にしました。また、パワー制御をすることにより、個体差のない単結晶育成を実現しました。

応用例

 

LT/LN、GGG、LGS、Sapphire、YAG、NdYAG、YAP、NdYAP、LuAG、YbLuAG、NdCrGSGG、BGO、PM、YVO、LBO、BSO、LSO、CaF、Si等

仕様

チャンバー

円筒型水冷式二重構造、耐真空構造

φ600~1200mm xH 1000mm

加熱方式 高周波誘導加熱方式
出力 10~200kW
加熱温度 最高2200℃
ロードセル 3~80kgf 最小分解能1/100000
制御装置 ADC機能付き結晶育成装置

お問い合わせ

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