結晶育成装置

溶液法装置

• 結晶育成装置
• 溶液法

丸型チャンバー引上げ装置（CZ法）

• 結晶育成装置
• CZ法

小型チャンバー引上げ装置（CZ法）

• 結晶育成装置
• CZ法

抵抗加熱式引上げ装置（CZ法）

• 結晶育成装置
• CZ法

EFG単結晶育成装置

• 結晶育成装置
• EFG法

抵抗加熱式μ‐PD（引下げ）炉

• 結晶育成装置
• マイクロPD法

高周波加熱式μ‐PD（引下げ）炉

• 結晶育成装置
• マイクロPD法

扉型チャンバー引上げ装置（CZ法）

• 結晶育成装置
• CZ法

ブリッジマン装置

• 結晶育成装置
• ブリッジマン法
• 実験可能

小型ブリッジマン装置

• 結晶育成装置
• ブリッジマン法

液相エピタキシャル装置(LPE炉)

• 結晶育成装置
• LPE法

昇華法装置

• 結晶育成装置
• 昇華法

高温急冷アニール装置（RTA炉）

• 結晶育成装置
• RTA炉

MSG結晶育成装置

• 結晶育成装置
• MSG法

超高品質大型インゴット成長装置

• NOC法
• 結晶育成装置

多結晶シリコン凝固育成装置

• 結晶育成装置
• 一方向凝固・鋳造法
• 焼結
• 焼成
• 実験可能
• アニーリング・熱処理
• 実験可能