MSG結晶育成装置
省エネ型・抵抗加熱式
サファイア結晶育成装置
MSG-30 / MSG-50 / MSG-100
概要
従来のキロプロス（Kyropoulos）法に、CZ法で培った引上技術を追加し、大型の結晶を育成する装置です。
カーボンヒーターによる抵抗加熱方式を採用し、金属ヒーターに比べ電力コストと消耗品コストを大幅に低減することを可能としました。
応用例
サファイア単結晶
仕様
| 加熱方式 | ２ゾーンカーボンヒーター抵抗加熱方式 |
|---|---|
| 加熱温度 | 最高2200℃ |
| 料充填 | 120kg |
| 炉方式 | 真空水冷ジャケットチャンバー |
| ヒーター出力 | メインヒーター100ｋW、ボトムヒーター50kW |
| 制御方式 | PLC制御（育成プログラム、炉内雰囲気） |
