MSG結晶育成装置|高周波誘導加熱・通電加熱・抵抗加熱・高周波電源・ホットプレスのことなら

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MSG結晶育成装置

キロプロス(Kyropoulos)法に、CZ法で培った引上技術を追加し、大型の結晶を育成するMSG結晶育成装置です。ホットスタンプ 高温炉 大気炉 真空炉 溶解炉 熱処理炉 真空管式発振機 タングステンヒーター 真空炉 ビレットヒータ 金属加熱 高周波加熱 高周波溶解炉 ホットプレス ハイブリッド加熱 ホットスタンピング 高温炉 溶解炉 高周波溶解炉 通電焼結装置 真空管式発振機 マイクロPD(引下げ) 引下げ装置

省エネ型・抵抗加熱式
サファイア結晶育成装置

 

  

 

MSG-30 / MSG-50 / MSG-100 

概要

従来のキロプロス(Kyropoulos)法に、CZ法で培った引上技術を追加し、大型の結晶を育成する装置です。
カーボンヒーターによる抵抗加熱方式を採用し、金属ヒーターに比べ電力コストと消耗品コストを大幅に低減することを可能としました。

 

 

 

応用例

サファイア単結晶 

仕様

加熱方式 2ゾーンカーボンヒーター抵抗加熱方式
加熱温度 最高2200℃
料充填 120kg
炉方式 真空水冷ジャケットチャンバー
ヒーター出力 メインヒーター100kW、ボトムヒーター50kW
制御方式 PLC制御(育成プログラム、炉内雰囲気)

お問い合わせ

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