3つの加熱技術

第一機電は3つのコア加熱技術から目的に最適な加熱方式を選定し、均一加熱・急速加熱・局所加熱・高温加熱など、加熱技術の特長を活かした装置構成をご提案いたします。

誘導加熱

導電性の被加熱物に電流が誘導されて自己発熱させる加熱方式  
コイルに交流電流を流して発生した磁界の中に金属を置き、金属内に流れる渦電流と金属が持つ電気抵抗によりジュール熱が発生し金属が発熱します。

  • 高温/局所/急速加熱が可能
  • 自己発熱の為効率が良い
  • 対象物へ非接触で加熱が可能

アプリケーション

超高温加熱炉 加熱成型装置 液体急冷装置 ホットプレス(1~1000t) 合金ワイヤー製造装置 扉型チャンバー引上げ装置(CZ法) 高周波加熱式μ‐PD(引下げ)炉 溶液法装置 昇華法装置 等

抵抗加熱

導電性の被加熱物に電流を通した際に、物体が持つ電気抵抗により発熱する原理を利用した加熱方式
電流が電気抵抗に流れる際に発生するジュール熱を利用して、被加熱物に輻射熱を与えて加熱させます。

  • 安価な設備
  • 温度の安定性に優れる
  • ヒータ構造のバリエーションが豊富(ゾーン加熱)

アプリケーション

バッチ式焼成炉 大型管状炉 ホットプレス(1~1000t) ホットプレス(ブロックヒーター式) 多結晶シリコン凝固育成装置 超高品質大型インゴット成長装置 抵抗加熱式引上げ装置(CZ法) 抵抗加熱式μ‐PD(引下げ)炉 高温急冷アニール装置(RTA炉) MSG結晶育成装置 等

通電加熱

導電性の被加熱物に直に電流を流して、被加熱物を直接発熱させる加熱方式   
高周波電流を用いることで表皮効果によりワーク表面近くに電流が流れ表面を速く加熱できます。被加熱物が導電性である必要があり用途が制限されるが、被加熱物のみが昇温されヒート&クールに向いた加熱方式となります。

  • 表層のみに加熱ができる(高周波通電)
  • 急速加熱が可能
  • 加熱電力が抑えられる

アプリケーション

小型ホットスタンピング装置 高周波誘導電線加熱装置 サーボプレス焼成炉 ハイブリッド型焼結装置(連続式) ハイブリッド型焼結装置(バッチ式) マルチ炉(焼結・溶解・含浸・ホットプレス) 等

ハイブリッド加熱の提案

高周波誘導加熱 + 抵抗加熱

ロードロック式CVD装置

高周波誘導加熱 + 通電加熱

ハイブリッド型焼結装置(連続式) ハイブリッド型焼結装置(バッチ式) マルチ炉(焼結・溶解・含浸・ホットプレス)

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